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探针冷热台的控制系统是怎样的?

发布时间:2021-09-29      点击次数:78
   探针冷热台主要用于半导体行业,其可满足大多数用户晶圆测试应用的需求。目前有多种型号可选,包括专业、高性能、半自动、通用功能和经济功能等。此外,还可提供必需的消耗品和附件。
  根据探针冷热台的结构,要实现测试台的自动化控制,首先要对X、Y、Z移动平台进行机械改造,采用步进电机代替原来的手轮。X、Y移动平台的传动和导向均采用丝杆与直线导轨结构,Z轴方向采用滚珠与直线导轨结构,两者都具有导向精度高、灵敏度高、稳定性好,对温度变化的敏感性小等特点。但是步进电机与导轨是不能直接连接的。为了实现更好的机械耦合,带来更好的实验效果,系统中使用了柔性连轴器作为电机与导轨的中间纽带。再加工相应的机械零件将电机固定于测试台上。
  采用单片机作为下位机的主控芯片,单片机具有与众不同的功能和特点,超低功耗设计可以提高电源的效率,节省电能,众多的片内外围设备可以减少成本的投入,方便的开发平台和Flash型现场更新功能可以有效加速产品的开发进程。
  单片机先通过串口接收上位机界面的命令信息,再根据相应的命令通过相应的算法之后控制三个电机的转与否,正转或者反转,以及转动的步数和速度。因为探针冷热台是接触式测试探针台,所以在测量时先对X、Y轴电机进行控制,移动到测量位置之后再对Z轴电机进行控制。
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