微型冷热台的维护保养方法分享

　　微型冷热台能方便、准确、快速地找到放置在安装台上的样品上所需要测试点，比如三极管的基区、发射区等，将探针和测试点可靠接触，将配套测试仪器上设置的测试条件通过探针加到被测试管芯上，实现对管芯参数测试的目的。

　　在半导体芯片的生产和研制过程中，需要对芯片样品的各项参数进行过程测试和终端测试，完成测试所需的测试对准。所采用的自动定位方法不仅节省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了其工作效率。

　　x-y向工作台是微型冷热台中核心的部分，该产品的故障很多是维护保养不当或盲目调整造成的，所以对该产品的维护与保养就显得尤为重要。

　　平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。

　　而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。

　　由于平面电机的定子及动子是*暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。