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探针冷热台各组成部件所起到的作用分享

发布时间:2022-03-17      点击次数:424
  探针冷热台主要使用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试,广泛应用于复杂、高速器件的精细电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发工夫和器件制造工艺成本。
 

 

  下面小编要与大家分享的是探针冷热台各组成部件所起到的作用:
  1、样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会依据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精细挪动定位功用。
  2、光学元件:这个部件的作用使得用户可以从视觉上缩小察看待测物,以便准确地将探针对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用平面变焦显微镜,有的采用数码相机,或许两者兼有。
  3、探针(探针卡):待测芯片需求测试探针的衔接,才干与测试仪器树立衔接。罕见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头拔出单个探针臂并装置在操纵器上。探针尺寸和资料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件,探针臂应与探针尖婚配。
  4、射频探针:射频探针的实质为适配器,将芯片测量接口转为同轴或波导端口。罕见的射频探针有GSG型、GS型、GSSG型等。射频探针的主要参数有高工作频率、探针针尖距(Pitch)等。目前,同轴接口的射频探针频率可达110GHz(MPI目前适配安利的扩频模块可到220G)波导接口的射频探针频率高达1.1THz,有一些型号的探针可以选配BiasTee。
  5、校准:微波射频在片测试的校准次要是指S参数校准,可以经过运用校准片完成校准。普通的校准片提供开路(Open)、短路(Short)、婚配(Match)、直通(Through)和延迟线(Line)标准件,可完成TOSM校准或TRL校准或SOLT或SOLR或LRM等。
  6、操纵器(定位器):探针台运用操纵器将探针放置在被测物上,它可以很容易地定位探针并疾速固定它们。通常运用磁铁或真空把它们固定在适当的地位。一旦固定,操纵器可以在X、Y和Z方向上精确定位探针,并且在某些状况下提供旋转运动。
  7、网络分析仪:虽然传统网络分析仪也能无效地测量有源器件,例如放大器、混频器和转换器,但它们不能提供以后研发和消费工程师所盼望的精度、易用性和速度。而这些功用关于无线通信行业来说至关重要—在这些行业中,产品速度往往可以决议一家公司的成败。
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