微型冷热台是材料科学、半导体、生物及纳米技术领域中实现样品原位温控与电学/光学测试的关键设备,可在-190℃至600℃范围内精确调控样品温度,同时配合显微镜与探针系统完成I-V特性、相变行为或热膨胀系数等精密测量。
微型冷热台性能高度依赖多个高集成度功能模块的协同运作,深入理解各组成部件的功能特点,是实现温控精准、定位稳定、信号可靠的技术基石。

一、温控核心平台
采用半导体热电(Peltier)制冷+电阻加热复合技术,或液氮/电加热组合,实现宽温域覆盖;
温度控制精度达±0.1℃,升降温速率最高可达20℃/s(取决于型号),支持程序控温与恒温保持;
样品台面为高纯铜或蓝宝石材质,导热均匀,热漂移<1μm/℃,保障显微观察稳定性。
二、微型探针系统
配备2–8根高精度微操作探针(钨针、铍铜针或镀金针),可三维调节(X/Y/Z微米级);
探针支架具高绝缘性(>10Ω)与低热电势,适用于pA级微弱电流测量;
部分机型集成同轴或三同轴接口,有效屏蔽电磁干扰,提升信噪比。
三、光学窗口与观察系统
台体顶部设高透光石英或蓝宝石窗口,透光率>90%,适配正置/倒置显微镜;
支持明场、暗场、偏光、荧光等多种成像模式,便于实时观察相变、结晶或电迁移过程;
窗口密封设计确保高低温下不起雾、不结霜。
四、真空/气氛控制系统(可选)
可选配密封腔体,支持抽真空(≤10mbar)或通入惰性气体(N2、Ar),防止样品氧化或挥发;
集成气路快接阀与压力传感器,实现气氛快速切换与稳定维持。
五、智能温控与数据接口
内置高分辨率PID温控器,支持USB/RS232通信,可与LabVIEW、Python等平台联动;
实时显示设定温度、实际温度、升温曲线,并具备超温保护与断电记忆功能;
多通道探针引线通过低噪声屏蔽电缆输出,兼容源表(SMU)、LCR仪等测试设备。