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晶圆加热盘(Wafer Heating Plate),也称为加热台或加热器,适用领域:半导体、芯片、OLED光学变温、晶圆测试等。它主要用于在加工晶圆时,对晶圆进行精确的温度控制,以确保制造过程中的稳定性和高质量,可用于各类探针台,温控同时进行电学测试。
文天精策的Die-to-wafer(芯片对晶圆)键合加热系统,是针对芯片与晶圆连接工艺打造的专用温控设备,由加热盘与键合头组成,主打高精度温控、快速升降温与高适配性,适配中低温键合场景,广泛应用于半导体优良封装、芯片异构集成等领域,可实现芯片与晶圆的精准、高效键合,兼顾键合质量与生产效率。
文天精策设计的Wafer-to-wafer(晶圆对晶圆)热压键合加热盘,是专为热压键合(TCB)工艺打造的核心组件,热压键合技术其核心是通过同时施加热量与压力,使两片完整晶圆在原子层面实现紧密接触与扩散,最终形成牢固冶金结合,是半导体优良封装、MEMS与微流控器件制造中的关键工艺装备。
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